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CMPリキッド

消耗品

CMPリキッド

■ケミカルリキッド HCL
■ケミカルリキッド HCL-XL
■ケミカルリキッド HCL-XL2

HCL HCL-XL HCL-XL2
20 nm
40 nm

■TECS-60J (60 nm)
■TECS-80J (80 nm)
■TECS-80SUS (80 nm)