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EHGシリーズ 170AV/250NC

横型研削盤

EHGシリーズ 170AV/250NC

横型研削盤EHGシリーズは、ソフトタッチパネルを搭載し、簡単な操作で高精度な研削加工を可能にしました。高精度スピンドルを搭載した砥石軸、ワーク軸および揺動運動と光学リニアスケールとの併用でクローズドループ制御を行い、より高い送り精度と定寸精度を実現します。

装置仕様

モデル EHG-170AV EHG-250NC
最大加工物寸法 6インチウェハ相当 8インチウェハ相当
最大砥石径 Φ180mm Φ250mm
回転数 最大2,500rpm 最大2,000rpm
ワークテーブル寸法 Φ170mm Φ250mm
回転数 最大560rpm 最大300rpm
制御 PLC PLC
操作パネル 液晶ソフトタッチパネル 7.4inch 液晶ソフトタッチパネル 12.1inch
装置サイズ(WDH) 1300mm×620mm×1317mm 1150mm×780mm×1450mm
装置重量 800kgf 900kgf