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EVGシリーズ 200/250

縦型研削盤

EVGシリーズ 200/250

“Trinity-Yシリーズからコンパクトボディ縦型研削盤が誕生しました。特に硬脆材料の研削加工を中心に、小ロットの生産、研究開発機関に最適な仕様となっています。さらに他のTrinity-Yと組み合わせることで省スペース化を実現し、無駄のない高機能な加工システムを構築することができます。

装置仕様

モデル EVG-200 EVG-250
最大加工物寸法 6インチウェハ相当 8インチウェハ相当
最大砥石径 Φ200mm Φ250mm
回転数 最大2,000rpm 最大2,000rpm
ワークテーブル寸法 Φ200mm Φ250mm
回転数 最大400rpm 最大450rpm
制御 PLC PLC
操作パネル 液晶ソフトタッチパネル 7.4inch 液晶ソフトタッチパネル 7.4inch
装置サイズ(WDH) 800mm×800mm×1900mm 1000mm×1100mm×1800mm
装置重量 1,100kgf 2,000kgf