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パッドコンディショナー

工具・治具

パッドコンディショナー

CMP(Chemical Mechanical Polishing)プロセスに用いる研磨布の平坦度の確保、最適化された研磨レートによる長寿命化、研磨布内コンタミ除去の為に各種コンディショナーと洗浄ブラシを揃えております。
ペレットタイプ研磨パッドコンディショナー

パッド用洗浄ブラシ